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回收硅片主、副参考面的制作-昆山公厚物资回收有限公司

回收废硅片主、副参考面的制作电路级的硅片通常都需要制作参考面，硅片参考面的制作就是在滚磨工序完成的。1.2.1 硅片参考面及其作用回收硅片参考面指在硅片边缘专门制作的小平面，也称作定位面，有主、副之分，主参考面的长度大于副参考面。主参考面是为了在器件生产中获得管芯分割的最佳划片合格率而制作的，因此又叫做最佳划片方位，规定硅片的主参考面方位为(110)。副参考面的作用是便于宏观区分硅片的型号和晶向。由于晶体具有解理性，就是说晶体在受到足够外力时会沿着某特定的方向（这个特定的裂开面被称为解理面。不同的晶体各有其特定的解理面。如果在划片时利用硅单晶的解理性质，选择其解理面作为硅片的划片断面，就可以有效地减少硅片分割6《兴，--19碎，从而提高器件生产的成品率。硅单晶的解理面是{111}面，而器件生产中用得势片晶面是{111}和{100}。表1-2列出了硅单晶中常用的几种晶面间的夹角， III+和+IOO}这两种晶面与+111}面之间夹角都没有90。的关系，显然，要敘峙-ir{111}面的参考面是不现实的。于是，采用了硅单晶的次解理面 {110}面来作为穆K，昂O片时只能以一特定方向Ⅵ，不能逆向进行，所以最终规定以（iio）面作为硅片的主参考面。硅片的副参考面位于距主参考面一定夹角的地方，宏观表示出硅片的型号和晶向。型号指硅片的导电类型，就是说是N型还是P型；晶向则指硅片的结晶学方向。显示了硅片生产中常用的四种硅片主、副参考面之间的夹角关系，以此可直观方便地区分硅片的型号和晶向。对于N{111}的硅片，副参考面与主参考面呈45。夹角，P{111}的硅片没有副参考面，N{ioo}硅片的副参考面与主参考面通常呈180。夹角，但在硅片直径为150nim时舀妒 与主参考面呈135。夹角，P{100}硅片的副参考面与主参考面呈90。夹角。本文出自：http://zhangpu.zz91.com/

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回收废硅片单晶或者晶片的晶向的

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